*分辨率從1μm～20nm
*極低的電子細分誤差（小于20nmRMS）
*讀數頭規格：10.2mm(高)x13.5mm(寬)x35mm(長)；重量：15g
*模擬量輸出；A-quad-B數字信號輸出；報警信號
*速度可達5m/s
*柵距20μm
*線性精度：標準±3～±5μm；高精度±1μm
*重復性≦1LSB
*光刻零位信號
*LED狀態指示燈用于傳感器對準和零位定位
