M1500V～M3500V、MII6000V真空讀數頭，真空光柵尺
*微型傳感器
*革命性的對準方式可用于多種應用
*先進的SmartPrecision電子器件內置于屏蔽D-SUB連接器
*柵距20μm
*分辨率高達1.22nm；旋轉分辨率可達268MCPR
*分辨率可編程設置
*線性精度：標準±3～±5μm；高精度±1μm；旋轉精度可達±2.1角秒
*真空度高達10負8托
*雙向零位信號
*LED設置指示燈用于傳感器對準和零位定位
*可選配直線光柵、圓光柵、扇形光柵
